ИССЛЕДОВАНИЕ ЛЕГИРОВАНИЯ АТОМАМИ СКАНДИЯ НА СТРУКТУРУ ПОВЕРХНОСТНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ

Разработана технология поэтапной низкотемпературной диффузии скандия в кремний, позволяющая создать кластеры примесных атомов, равномерно распределенных по всему объему материала. Показано, что в отличие от образцов, полученных высокотемпературным диффузионным легированием, в образцах полученных по новой технологии отсутствует эрозия поверхности, образование сплавов и силицидов в приповерхностной области. Установлена повышенная термо- и радиационная стойкость образцов кремния содержащих кластеры примесных атомов скандия.

Проведены комплексные (методами меченых атомов, авторадиографии, измерения проводимости и эффекта Холла, изотермической релаксации емкости и тока) исследования диффузия, растворимость и электрофизические свойства скандия в кремнии при различных средах отжига и для широкого интервала температур (1100÷1250⁰С). Установлены диффузионные параметры, растворимость и выявлена акцепторная природа исследованной примеси в кремнии, термическая стабильность кремния легированного примесными атомами скандия.