Б.Э.Эгамбердиев, & Л.Э.Хасанова. (2026). ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ И КИНЕТИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ МАРГАНЦА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. IMRAS, 9(2), 70–77. Retrieved from https://journal.imras.org/index.php/sps/article/view/2757