Б.Э.Эгамбердиев, and Л.Э.Хасанова. “ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ И КИНЕТИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ МАРГАНЦА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ”. IMRAS, vol. 9, no. 2, Mar. 2026, pp. 70-77, https://journal.imras.org/index.php/sps/article/view/2757.