Б.Э.Эгамбердиев, Л.Э.Хасанова. ЭНЕРГЕТИЧЕСКИЕ И КИНЕТИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ОБРАЗОВАНИЯ СИЛИЦИДОВ МАРГАНЦА НА КРЕМНИИ МЕТОДОМ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ. IMRAS [Internet]. 2026 Mar. 1 [cited 2026 Oct. 23];9(2):70-7. Available from: https://journal.imras.org/index.php/sps/article/view/2757